壓力固化烤箱(PCO) 或高壓容器用于使空隙最小化并增加通常用于貼裝附著和底部填充應用中的粘合工藝的粘合強度
· PCO將空氣加壓到剛性容器中,并通過強制對流加熱和冷卻.
· 加熱器,熱交換器和鼓風機位于壓力容器內部.
· 固化過程完成后,壓力固化爐會自動將壓力降低到1atm并冷卻?.
工藝規(guī)格:
· 處理時間:通常為120分鐘或用戶指定的時間
· 工作溫度:60oC?200oC
· 最高溫度:220oC
· 工作壓力:1 bar – 10 bar
· 能力值:24個彈夾(標準)
· 冷卻方式:PCW(17oC – 23oC)
· 冷卻水壓力:25 – 40 psi
壓力固化應用:
· 印刷工藝且復合成型
· 晶圓貼裝
· 晶圓表層黏合
· 熱壓粘合
· 底部填充固化
· 通過填充
· 薄膜和膠帶粘接